Растровый электронный микроскоп

В растровом электронном микроскопе применяются электронные линзы для фокусировки электронного пучка в пятно очень малых размеров. Это пятно непрерывно обегает некоторый участок образца аналогично лучу, обегающему экран телевизионной трубки. Для растрового микроскопа требуется высокоинтенсивный источник электронов (1). Для этого вблизи поверхности заостренной вольфрамовой проволочки малого диаметра создается сильное электрическое поле, вытягивающее из нее электроны без нагрева. Яркость такого источника почти в 10000 раз больше, чем источника с нагреваемой вольфрамовой проволокой. Электроны дополнительно ускоряются с помощью ускоряющей системы (2) и фокусируются в пятно малого диаметра магнитной линзой (3). С помощью отклоняющих магнитных катушек (4) электронный пучок обегает весь участок образца (5). Детектор отраженных электронов (6), располагающийся выше образца, регистрирует отраженные электроны. При этом контраст связан в основном с углом падения электронов на образец, и на изображении хорошо выявляется поверхностная структура (сканирующая микроскопия). Детекторы, расположенные под образцом, используютя для растровой просвечивающей микроскопии для исследования тонких образцов. Кольцевой детектор (7) регистрирует электроны, рассеянные на углы более нескольких градусов. Электроны, не претерпевшие рассеяния в образце, а также электроны, замедлившиеся в результате взаимодействия с образцом, проходят в отверстие кольцевого детектора. Энергетический анализатор (8), расположенный под кольцевым детектором, позволяет измерить энергию, потерянную электонами при рассеянии, и вследствии этого получить важную информацию об образце.